TF map 2530系列非接触式扫描成像全检测装备

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TF map 2530系列非接触式扫描成像全检测装备

TF map 2530 系列自动丈量大样本的薄层电阻高达非接触模式300×300平方毫米（12×12英寸）。。。。。。在手动样品定位时，，，，，该装备会自动丈量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。。。。。。丈量设置允许轻松无邪地在低于 1 分钟的快速丈量时间或凌驾 100,000 个丈量点的高空间丈量区分率之间举行选择。。。。。。

优势

非接触式

快速准确的丈量

导电薄膜的高区分率映射

对最大 300 x 300 毫米（12 x 12 英寸）的基板举行成像

甚至隐藏和封装的导电层的表征

种种软件集身剖析功效（例如薄层电阻漫衍、线扫描、单点剖析）

丈量数据生涯和导出功效

缺陷检测和涂层剖析

丈量

手艺：非接触涡流

通过多点映射成像

定位区域：300 mm x 300 mm

取样面积：300 x 300 mm

推荐的样品尺寸：1 英寸至 12 英寸或 25 至 300 毫米

软件和装备控制

特殊人性化的软件

实时测绘丈量

易于使用的统计剖析选项

预界说的丈量和产品配方（尺寸、间距、阈值）

线扫描、直方图和面积剖析

玄色和彩色图像编码

CSV 和 pdf 导出

PC 汇总和导出

3 用户级别

用于参数转换的质料数据库

边沿效果赔偿

数据的存储和导入

数据集的导出（例如到 EddyEva、MS Excel、Origin）

电阻测试仪参数

丈量手艺	非接触式涡撒播感器
基材	晶圆、玻璃、箔等
最大限度。。。。。。扫描区域	12 英寸/300 毫米 x 300 毫米（凭证要求更大）
边沿效应校正/扫除	2 – 10 毫米（取决于尺寸、规模、设置和要求）
最大限度。。。。。。样品厚度/传感器间隙	3 / 5 / 10 / 15 毫米（由最厚的样品界说）
金属薄膜（如铝、铜）的厚度丈量	2 nm – 2 mm (凭证薄层电阻)
扫描间距	1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米（其他应要求提供）
每次丈量点数（方形样品）	0.5 分钟 100 个丈量点 3 分钟 10,000 个丈量点
扫描时间	8 英寸/200 毫米 x 200 毫米，，，，，1 至 10 分钟（1 – 10 毫米间距） 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米，，，，，2 至 6 分钟（2.5 – 25 毫米间距）
装备尺寸 (w/h/d)	31.5” x 19.1” x 33.5” / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米
重量	90公斤
更多可用功效	金属厚度成像、各向异性和薄层电阻传感器
	VLSR	LSR	MSR	HSR	VHSR
规模 [欧姆/平方]	0.0001 – 0.1	0.1 – 10	0.1 – 100	10 – 2000	1,000 – 200,000
精度/误差			± 1%	± 1 – 3%	± 3 – 5%
重复性 (2σ)			< 0.5%	< 1%	< 0.5%